S 介电常数、脉冲波形、光子链路定位、电磁辐射等参数上的计量测试能力，有效解决了 MEMS 关键射频参数在计量测试与行业应用中遇到的难题。该研究成功研制了基材介电常数计量装置、太赫兹波形计量装置、光子链路定位参数计量装置、微互连电磁泄漏总辐射功率测试装置以及微机电系统电接触和互连电参数测试装置等多项技术成果，部分指标已达到国际先进水平。从官方获悉，研究团队还牵头起草了《皮秒级快沿 / 脉冲发生器校
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发布时间：00:33:51